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        193nm零級空氣隙波片

        主頁 193nm深紫外偏振元件

        193nm零級空氣隙波片

        深紫外空氣隙波片
        193nm零級空氣隙波片

        193nm零級空氣隙波片,無膠合層,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強,抗老化性能好,石英材料耐深紫外腐蝕,適合連續(xù)高功率激光運行,偏振控制穩(wěn)定。

         

        特點:

        空氣間隙

        厚度:0.8~2.0mm

        高延遲均勻性

        高損傷閾值

        • 貨號 :

          WPA-193nm
        • 產(chǎn)品產(chǎn)地 :

          FuZhou
        新產(chǎn)品

        規(guī)格:

        材料:
        石英晶體
        直徑公差:
        +0.0, -0.1mm
        波前畸變 :
        λ/8 @ 632.8nm
        延遲精度:
        λ/50
        平行度:
        <1 arc second
        光潔度:
        20/10
        通關(guān)孔徑:
        >80%
        鍍膜:
        不鍍膜或按要求定制鍍膜
        標(biāo)準(zhǔn)波長:
        193.368nm

        產(chǎn)品型號:

        半波片 P/N#
        四分之一波片 P/N#
        直徑(mm)
        WPA-210-193
        WPA-410-193
        10.0
        WPA-212-193
        WPA-412-193
        12.7
        WPA-215-193
        WPA-415-193
        15.0
        WPA-220-193
        WPA-420-193
        20.0
        WPA-225-193
        WPA-425-193
        25.4
        WPA-230-193
        WPA-430-193
        30.0
        WPA-235-193
        WPA-435-193
        35.0
        WPA-250-193
        WPA-450-193
        50.0

         

        193nm零級空氣隙波片技術(shù)優(yōu)勢:

        193nm零級空氣隙波片采用雙石英片空氣隙結(jié)構(gòu),大幅降低材料吸收損耗,在 ArF 準(zhǔn)分子激光等深紫外波段透過率優(yōu)異??諝忾g隙設(shè)計規(guī)避膠合工藝熱應(yīng)力,耐受高功率激光長期運行,引入離子束精修工藝,實現(xiàn)納米級表面平整度,顯著減少散射損耗,優(yōu)化波前質(zhì)量,適配光刻等高精密偏振調(diào)控場景。

         

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