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        193nm空氣隙零級波片

        主頁 193nm深紫外偏振元件

        193nm空氣隙零級波片

        深紫外波片
        193nm空氣隙零級波片

        193nm空氣隙零級波片,無粘合層,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強,抗老化性能好。石英耐深紫外腐蝕,適合連續(xù)高功率激光工作,偏振控制穩(wěn)定。

        特征:

        空氣隙

        厚度0.3~1.5mm

        高損傷閾值

        AR鍍膜并安裝

        • 貨號 :

          WPA-193nm
        • 產(chǎn)品產(chǎn)地 :

          FuZhou
        新產(chǎn)品

        規(guī)格:

        材料:
        石英
        直徑公差:
        +0.0, -0.1毫米
        波前畸變:
        λ/8 @ 632.8nm
        延遲公差:
        λ/50
        并行性:
        <1角秒
        表面質(zhì)量:
        20/10
        通光孔徑:
        >80%
        涂層:
        S1&S2:R<0.2% @ 波長
        標準波長:
        193納米

        標準產(chǎn)品:

        半波片 P/N#
        四分之一波片 P/N#
        直徑(毫米)
        WPA-210-193
        WPA-410-193
        10.0
        WPA-212-193
        WPA-412-193
        12.7
        WPA-215-193
        WPA-415-193
        15.0
        WPA-220-193
        WPA-420-193
        20.0
        WPA-225-193
        WPA-425-193
        25.4
        WPA-230-193
        WPA-430-193
        30.0
        WPA-235-193
        WPA-435-193
        35.0
        WPA-250-193
        WPA-450-193
        50.0

        193nm空氣隙零級波片技術(shù)優(yōu)勢:

        193nm空氣隙波片采用雙石英空氣隙結(jié)構(gòu),大幅降低材料吸收損耗,在ArF準分子激光器等深紫外波段具有優(yōu)異的透射率。其空氣隙設(shè)計避免了鍵合產(chǎn)生的熱應(yīng)力,可承受長時間高功率激光工作。結(jié)合離子束拋光技術(shù),波片實現(xiàn)了納米級表面平整度,顯著降低了散射損耗并優(yōu)化了波前質(zhì)量,適用于光刻工藝中的高精度偏振控制。

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