193nm零級空氣隙波片,無膠合層,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強,抗老化性能好,石英材料耐深紫外腐蝕,適合連續(xù)高功率激光運行,偏振控制穩(wěn)定。
特點: 空氣間隙 厚度:0.8~2.0mm 高延遲均勻性 高損傷閾值 |
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貨號 :
WPA-193nm產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規(guī)格:
材料:
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石英晶體
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直徑公差:
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+0.0, -0.1mm
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波前畸變 :
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λ/8 @ 632.8nm
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延遲精度:
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λ/50
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平行度:
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<1 arc second
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光潔度:
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20/10
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通關(guān)孔徑:
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>80%
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鍍膜:
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不鍍膜或按要求定制鍍膜
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標(biāo)準(zhǔn)波長:
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193.368nm
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產(chǎn)品型號:
半波片 P/N#
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四分之一波片 P/N#
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直徑(mm)
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WPA-210-193
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WPA-410-193
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10.0
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WPA-212-193
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WPA-412-193
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12.7
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WPA-215-193
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WPA-415-193
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15.0
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WPA-220-193
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WPA-420-193
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20.0
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WPA-225-193
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WPA-425-193
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25.4
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WPA-230-193
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WPA-430-193
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30.0
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WPA-235-193
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WPA-435-193
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35.0
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WPA-250-193
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WPA-450-193
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50.0
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193nm零級空氣隙波片技術(shù)優(yōu)勢:
193nm零級空氣隙波片采用雙石英片空氣隙結(jié)構(gòu),大幅降低材料吸收損耗,在 ArF 準(zhǔn)分子激光等深紫外波段透過率優(yōu)異??諝忾g隙設(shè)計規(guī)避膠合工藝熱應(yīng)力,耐受高功率激光長期運行,引入離子束精修工藝,實現(xiàn)納米級表面平整度,顯著減少散射損耗,優(yōu)化波前質(zhì)量,適配光刻等高精密偏振調(diào)控場景。